工控維修

一、真空計概述

真空計，又稱真空表或真空規(guī)管，是一種專門用于測量氣體壓強或真空度的儀器。它通過測量封閉空間內氣體分子運動產生的壓力來間接反映真空度的高低。在科研和工業(yè)生產中，真空計被廣泛應用，用于精確控制真空環(huán)境，確保實驗或生產過程的穩(wěn)定性和精確性。

二、真空計的原理

真空計的工作原理基于不同氣壓下氣體分子的物理效應變化。根據測量原理的不同，真空計主要可分為三大類：利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。

1. 利用力學性能的真空計

• 波爾登規(guī)（Bourdon Gauge）：利用細銅管在氣體壓力作用下的舒展現象，帶動杠桿和齒輪旋轉，使指針指示在不同刻度上，從而讀出氣壓值。

• 薄膜電容規(guī)：金屬膜片在不同壓力下變形，導致與電極之間的電容變化，通過測量電容變化量來推算氣壓值。

2. 利用氣體動力學效應的真空計

• 皮拉尼電阻規(guī)（Pirani Gauge）：利用電阻與溫度的關系，通過測量熱絲在不同氣壓下保持的溫度變化來推算氣壓。

• 熱電偶規(guī)：與皮拉尼電阻規(guī)類似，但直接測量熱絲的溫度變化，而不是電阻變化。

3. 利用帶電粒子效應的真空計

• 熱陰極電離規(guī)：熱陰極發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，收集產生的離子電流來推算氣壓。

• 冷陰極電離規(guī)：利用磁控放電電離氣體分子，收集離子電流進行氣壓測量。

三、真空計的使用方法

1. 選擇合適的真空計：根據測量需求選擇合適的真空計型號和量程。

2. 校準真空計：在使用前進行校準，確保測量結果的準確性。

3. 連接真空計：將真空計連接到被測設備或容器上，確保連接部位密封性良好。

4. 啟動測量：開啟被測設備或容器，待其達到穩(wěn)定狀態(tài)后開啟真空計進行測量。

5. 讀取數據：穩(wěn)定后讀取真空計顯示的數據，注意數據的穩(wěn)定性和準確性。

6. 結束測量：測量完畢后關閉真空計和被測設備或容器，妥善保管真空計。

四、真空計的故障及維修方法

1. 無法啟動

• 檢查電源：確認真空計是否插好電源，插頭是否松動。

• 檢查保險絲：查看保險絲是否燒壞，必要時更換。

• 檢查開關：確認開關位置正確，設置無誤。

2. 讀數不準確

• 檢查連接口：確認連接口是否松動，連接是否緊密。

• 檢查量程設置：確認量程設置是否正確，避免超出測量范圍。

• 檢查傳感器：傳感器損壞可能導致讀數不準確，需更換傳感器。



3. 讀數過高或過低

• 檢查氣體流量：氣體流量異常可能影響讀數，需檢查氣體流量是否正常。

• 檢查真空管質量：真空管質量不佳也可能導致讀數不準確，需更換真空管。

4. 漏氣

• 檢查密封性：確認真空計和真空管的密封性是否良好，必要時進行密封處理。

• 檢測隱藏漏氣：使用灌注氣體等方法檢測隱藏漏氣點，并進行修復。

5. 預防措施

• 定期檢查：定期對真空計進行維護和檢查，確保其正常工作。

• 保持清潔：保持真空計清潔，避免干擾測量結果。

• 安全操作：注意操作安全，避免操作不當導致設備損壞或安全事故。

五、總結

真空計作為測量真空度或氣壓的重要工具，在科研和工業(yè)生產中發(fā)揮著重要作用。了解其工作原理、掌握正確的使用方法以及處理常見故障的方法，對于確保測量結果的準確性和設備的穩(wěn)定運行至關重要。同時，定期維護和檢查真空計也是保證其長期穩(wěn)定工作的關鍵。

六、容濟機電維修過的真空機品牌和型號、

   1、Inficon

（1）Sky CDG025D: Capacitance Diaphragm Gauge

（2）Sky CDG100D: Capacitance Diaphragm Gauge

（3）Sky CDG200D: Capacitance Diaphragm Gauge

（4）Skyview: Combination Pirani and Cold Cathode Gauge

   2、Edwards

（1）nEXT系列：nEXT730D，nEXT930D

（2）Active Pirani系列：APG100，APG200

（3）Active Inverted Magnetron系列：AIM-X，AIM-S

   3、Pfeiffer Vacuum

（1）ActiveLine系列：TPR 280，TPR 270

（2）DigiLine系列：DPG 102，DPG 109

（3）Compact系列：PCR 260，PCR 270

   4、MKS Instruments

（1）Granville-Phillips系列：370 Stabil-Ion，375 Convectron，390 Micro-Ion

（2）Baratron系列：627D，629A

（3）PDR系列：PDR2000

   5、Leybold

（1）Thermovac系列：TTR 91，TTR 101

（2）Ceravac系列：CTR 100，CTR 101

（3）Ionivac系列：ITR 90，ITR 91

   6、Agilent Technologies

（1）ConvecTorr: Convectron Gauge

（2）UHV Ionization Gauge: Ultrahigh Vacuum Gauge

（3）FRG-700: Full Range Gauge

   7、Teledyne Hastings

（1）DV-6: Thermocouple Vacuum Gauge

（2）HPM-2002: Digital Vacuum Gauge

（3）HVG-2020B: Digital Vacuum Gauge

   8、Brooks Instrument

（1）5866: Capacitance Manometer

（2）5850: Mass Flow Controller

（3）5863: Digital Pressure Gauge

   9、Kurt J. Lesker

（1）945系列：Inverted Magnetron Gauge

（2）350系列：Pirani Gauge

（3）354系列：Ionization Gauge

   10、ULVAC

（1）G-Tran系列：G-Tran ST1，G-Tran PT1

（2）SW-1系列：SW-1

（3）M-100系列：M-100

   11、InstruTech

（1）B-RAX 3000: Vacuum Gauge Controller

（2）CDG-500: Capacitance Diaphragm Gauge

（3）IGC100: Cold Cathode Gauge

   12、Thyracont

（1）Smartline系列：VSR，VSP

（2）Digitalline系列：VD8，VD12

（3）Analogline系列：VMA，VPA

   13、Agilent

（1）XGS-600: Gauge Controller

（2）FRG-720: Full Range Gauge

（3）UHV-24: Ultra High Vacuum Gauge

   14、Sens4

（1）VQM-83: Vacuum Quality Monitor

（2）VSM-32: Vacuum Sensor Module

   15、Dycor (AMETEK)

（1）Dycor Quadlink: Residual Gas Analyzer

（2）Dycor 1000: Vacuum Gauge

   容濟機電公司長期維修真空計，擁有接近30年的維修經驗，可以快速搶修好各類儀器，另外回收和銷售各類真空計，歡迎咨詢。